Polarisierte Feldelektronenquelle und 'electron antibunching'

Projektleitung und Mitarbeiter

Mittelgeber : DFG

Forschungsbericht : 1994-1996

Tel./ Fax.:

Projektbeschreibung

Eine polarisierte Feldelektronenquelle eröffnet außerordentliche, neue Möglichkeiten, sowohl bei interferometrischen Experimenten zu den Grundlagen der Quantenmechanik, als auch in der Mikroskopie. Die höchstaufgelöste Abbildung von Magnetstrukturen, die von großer Wichtigkeit bei der Herstellung von Datenträgern ist, wird mit polarisierten Elektronen im Rasterelektronenmikroskop und in der Tunnelmikoskopie möglich. Aufgrund des bei einer polarisierten Feldelektronenquelle 'electron antibunching' bleibt die geringe Energiebreite von nur 0,1 0,2 eV der feldemittierten Elektronen auch bei hohen Strahlströmen erhalten. Dies läßt eine Erhöhung der mit modernsten Raster- und Durchstrahlungselektronenmikroskopen erreichbaren Auflösung und einen wesentlichen Fortschritt bei der Herstellung von Mikrostrukturen erwarten.

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